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liyuandong1銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
求問(wèn)AZO薄膜電阻率問(wèn)題
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1. 由于學(xué)校四探針檢測(cè)過(guò)程較漫長(zhǎng)，因此希望能在實(shí)驗(yàn)室粗略的測(cè)量一下AZO的導(dǎo)電性能是否良好。 求問(wèn)，導(dǎo)電率良好的AZO薄膜，如果用萬(wàn)用表測(cè)電阻，2個(gè)電極相隔1cm左右，顯示應(yīng)該為多少歐姆為佳。 2. 另外，采用直流非反應(yīng)濺射，一些樣品XRD檢測(cè)出來(lái)在31°左右有ZnAl2O4（鋁酸鋅）峰，不知道大家有遇到這種情況嗎，是靶材的問(wèn)題嗎？ |
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oliver0606
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