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lzb7758520鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
正性光刻膠的去除
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在硅片上進(jìn)行了光刻，采用正性光刻膠(BP212-37)，然后在上面去蒸金，我現(xiàn)在想去除光刻膠然后保留光刻位置上的金顆粒，怎么去除該光刻膠，我問(wèn)過(guò)我們所里的做光刻的，他們說(shuō)用丙酮超生，我想一超生金顆粒不就全部掉了嗎？大家不知道有什么辦法？謝謝！ 圖片見(jiàn)附件，我以前沒(méi)有做過(guò)這方面的東西，因此附件中的圖片是引用小木蟲(chóng)論壇上的一個(gè)帖子的，請(qǐng)?jiān)髡卟灰?jiàn)怪。 [ Last edited by lzb7758520 on 2012-7-5 at 10:46 ] |
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 實(shí)驗(yàn)們 | 光刻 |
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lzb7758520
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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3樓2012-07-05 14:30:17
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lzb7758520: 金幣+2, ★★★很有幫助, 謝謝！ 2012-07-23 12:59:39
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2樓2012-07-05 13:36:25
nonononono
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4樓2012-07-05 16:47:53
htding
新蟲(chóng) (初入文壇)
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如果是特征尺寸在2-5um的話，可以用丙酮泡3個(gè)小時(shí)左右，然后用水沖洗；5樓2012-07-19 11:08:46
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