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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 正性光刻膠的去除
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lzb7758520鐵桿木蟲 (著名寫手)
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[求助]
正性光刻膠的去除
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在硅片上進行了光刻，采用正性光刻膠(BP212-37)，然后在上面去蒸金，我現(xiàn)在想去除光刻膠然后保留光刻位置上的金顆粒，怎么去除該光刻膠，我問過我們所里的做光刻的，他們說用丙酮超生，我想一超生金顆粒不就全部掉了嗎？大家不知道有什么辦法？謝謝！ 圖片見附件，我以前沒有做過這方面的東西，因此附件中的圖片是引用小木蟲論壇上的一個帖子的，請原作者不要見怪。 [ Last edited by lzb7758520 on 2012-7-5 at 10:46 ] |
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 實驗們 | 光刻 |
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htding
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如果是特征尺寸在2-5um的話，可以用丙酮泡3個小時左右，然后用水沖洗；
5樓2012-07-19 11:08:46
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
lzb7758520: 金幣+2, ★★★很有幫助, 謝謝！ 2012-07-23 12:59:39
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2樓2012-07-05 13:36:25
lzb7758520
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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3樓2012-07-05 14:30:17
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4樓2012-07-05 16:47:53
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