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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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jufayin

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[求助] SU-8負(fù)性光刻溶劑

有誰(shuí)知道 SU-8 負(fù)性光刻膠的溶劑是什么啊？

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1樓 2012-07-06 13:07:41

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引用回帖:

3樓: Originally posted by yswyx at 2012-09-19 13:44:52
樓上說(shuō)的完全不對(duì)。SU8的顯影液是有機(jī)溶劑，名字是DRGM，具體成分要看MSDS。
絕大部分半導(dǎo)體行業(yè)用的負(fù)膠，用的都是有機(jī)溶劑做顯影液的。只有正膠會(huì)用堿性的溶液來(lái)做顯影液，標(biāo)準(zhǔn)的是2.38%的TMAH溶液。只有在顯示行 ...

如果是用丙二醇甲醚醋酸酯做顯影液，濃度應(yīng)該是多少啊，請(qǐng)指教

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7樓2013-04-20 17:01:26

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【答案】應(yīng)助回帖

tt.yao: 應(yīng)助指數(shù)+1, 外行表示，長(zhǎng)了一見(jiàn)識(shí)。 2012-07-22 21:15:10

負(fù)性光刻膠可用在CF(color filter即彩色濾光片)的顯影，CF顯影液就是專門用來(lái)溶解未曝光的負(fù)性光刻膠的，目前CF顯影液的主要成分為KOH，我這么說(shuō)樓主明白了吧

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年輕就要拼搏向上

2樓2012-07-22 21:06:36

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yswyx

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【答案】應(yīng)助回帖

樓上說(shuō)的完全不對(duì)。SU8的顯影液是有機(jī)溶劑，名字是DRGM，具體成分要看MSDS。
絕大部分半導(dǎo)體行業(yè)用的負(fù)膠，用的都是有機(jī)溶劑做顯影液的。只有正膠會(huì)用堿性的溶液來(lái)做顯影液，標(biāo)準(zhǔn)的是2.38%的TMAH溶液。只有在顯示行業(yè)，因?yàn)椴慌翶，Na等活性離子的沾污，并且對(duì)分辨率要求不高的情況下，才會(huì)用NaCO3，NaOH，KOH的低濃度溶液來(lái)做顯影液。

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3樓2012-09-19 13:44:52

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【答案】應(yīng)助回帖

如果SU8的溶劑的話，應(yīng)該是SRGM，也是一種有機(jī)溶劑，可以向廠家要MSDS

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4樓2012-09-19 13:47:01

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