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QUEDEGE銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
氧化釩熱敏薄膜電阻問題
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| 我是用反應(yīng)磁控濺射法制備VOx薄膜的，想問一下做VOx熱敏薄膜的同學(xué)們，大家做出的膜的電阻大概是多少，退火處理后阻止的變化趨勢，我做出的薄膜退火空氣氣氛退火30分鐘阻值下降了兩個(gè)數(shù)量級，這正常么，阻值降低的主要原因是什么 |
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2樓2012-08-05 23:56:28
QUEDEGE
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3樓2012-08-06 19:15:33
4樓2012-08-06 22:16:36
5樓2012-08-07 21:41:14
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6樓2012-08-07 23:45:08
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