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QUEDEGE銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
氧化釩熱敏薄膜電阻問題
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| 我是用反應(yīng)磁控濺射法制備VOx薄膜的,想問一下做VOx熱敏薄膜的同學(xué)們,大家做出的膜的電阻大概是多少,退火處理后阻止的變化趨勢,我做出的薄膜退火空氣氣氛退火30分鐘阻值下降了兩個(gè)數(shù)量級(jí),這正常么,阻值降低的主要原因是什么 |
銅蟲 (初入文壇)
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