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zlywm

新蟲 (初入文壇)

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專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)

[求助] 求助玻璃表面或者硅片表面磁控濺射一層CeO2的工藝參數(shù)

求助，CeO2在玻璃或者硅片上磁控濺射的工藝參數(shù)，本底真空度，濺射氣體成分，濺射氣壓，濺射功率，建設(shè)時(shí)間或者時(shí)間與厚度的關(guān)系。還有后期處理，表面顏色，是否結(jié)晶，聽說結(jié)晶的膜是紫紅色的。求大家?guī)蛶兔�，有誰了解的，給篇論文，或者直接給參數(shù)啊。謝了。急用。

[ Last edited by zlywm on 2012-8-7 at 23:41 ]

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1樓 2012-08-07 23:39:21

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