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關于薄膜厚度均勻度公式
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手上有10個點的厚度測量值,想算下薄膜的厚度均勻度。在網上查了很久,沒有結果。查過一個木板的厚度不均勻值(暈。┱f是(最大值減去最小值)除以公稱厚度,總覺得有點不對勁。。。。請教各位搞膜技術的兄弟姐妹們給個確切的公式,謝謝! |

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http://www.chemshow.cn/UploadFil ... 067222354802258.pdf 真空鍍膜膜層厚度均勻性計算與工件架的設計 |


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