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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 化學化工區(qū) » 工藝技術 » 膜技術 » 關于薄膜厚度均勻度公式
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[求助]
關于薄膜厚度均勻度公式
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手上有10個點的厚度測量值，想算下薄膜的厚度均勻度。在網(wǎng)上查了很久，沒有結果。查過一個木板的厚度不均勻值（暈�。┱f是（最大值減去最小值）除以公稱厚度，總覺得有點不對勁。。。。請教各位搞膜技術的兄弟姐妹們給個確切的公式，謝謝！ |
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http://www.chemshow.cn/UploadFil ... 067222354802258.pdf 真空鍍膜膜層厚度均勻性計算與工件架的設計 |
2樓2012-08-12 17:41:27
3樓2012-08-12 18:18:45
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