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[求助]
關(guān)于薄膜厚度均勻度公式
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手上有10個(gè)點(diǎn)的厚度測(cè)量值，想算下薄膜的厚度均勻度。在網(wǎng)上查了很久，沒(méi)有結(jié)果。查過(guò)一個(gè)木板的厚度不均勻值（暈�。┱f(shuō)是（最大值減去最小值）除以公稱厚度，總覺(jué)得有點(diǎn)不對(duì)勁。。。。請(qǐng)教各位搞膜技術(shù)的兄弟姐妹們給個(gè)確切的公式，謝謝！ |
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3樓2012-08-12 18:18:45
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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http://www.chemshow.cn/UploadFil ... 067222354802258.pdf 真空鍍膜膜層厚度均勻性計(jì)算與工件架的設(shè)計(jì) |
2樓2012-08-12 17:41:27
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