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Nano-mse金蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于CVD壓力計(jì)的問(wèn)題
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各位蟲友，在此請(qǐng)教，大家在CVD上用過(guò)何種壓力計(jì)可以分別測(cè)量氬氣，氫氣以及氬-氫混合氣的壓強(qiáng)？聽(tīng)說(shuō)MKS有這樣的產(chǎn)品，但是太貴了，不知道有沒(méi)有便宜一些的替代產(chǎn)品。 另外，想進(jìn)一步咨詢下，有些文獻(xiàn)中說(shuō)，實(shí)驗(yàn)時(shí)通入多少torr的氣體；而另一些文獻(xiàn)中說(shuō)實(shí)驗(yàn)時(shí)保持管中壓強(qiáng)為多少torr。這二者的區(qū)別就是前者的壓力計(jì)接在了石英管入口處，而后者的壓力計(jì)接在了石英管出口和真空泵之間嗎？這兩類情況哪個(gè)效果更好呢？ 非常感謝，期待大家的幫助與回復(fù)。 |
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Nano-mse
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2樓2012-08-16 12:15:51
Nano-mse
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3樓2012-08-16 19:39:25
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