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Nano-mse金蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于CVD壓力計的問題
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各位蟲友，在此請教，大家在CVD上用過何種壓力計可以分別測量氬氣，氫氣以及氬-氫混合氣的壓強？聽說MKS有這樣的產(chǎn)品，但是太貴了，不知道有沒有便宜一些的替代產(chǎn)品。 另外，想進一步咨詢下，有些文獻中說，實驗時通入多少torr的氣體；而另一些文獻中說實驗時保持管中壓強為多少torr。這二者的區(qū)別就是前者的壓力計接在了石英管入口處，而后者的壓力計接在了石英管出口和真空泵之間嗎？這兩類情況哪個效果更好呢？ 非常感謝，期待大家的幫助與回復。 |
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Nano-mse
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2樓2012-08-16 12:15:51
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