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jamie82木蟲 (著名寫手)
一三三
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[求助]
如何才能防止/減輕TFT中SiN出現(xiàn)氣泡？ 已有1人參與
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我們在生產LTPS-TFT時在ITO像素電極烘烤(230℃-60min)后出現(xiàn)Passivation層(材質為SiN，CVD成膜)氣泡，有什么方法可以防止或減輕氣泡發(fā)生嗎？ 小弟在此拜謝了！  |
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4樓2014-04-26 18:51:45
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