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jamie82木蟲 (著名寫手)
一三三
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[求助]
如何才能防止/減輕TFT中SiN出現(xiàn)氣泡？ 已有1人參與
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我們在生產LTPS-TFT時在ITO像素電極烘烤(230℃-60min)后出現(xiàn)Passivation層(材質為SiN，CVD成膜)氣泡，有什么方法可以防止或減輕氣泡發(fā)生嗎？ 小弟在此拜謝了！  |
回復此樓
lp806376231
鐵蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 同步輻射技術及其應用
4樓2014-04-26 18:51:45
wwlong
銀蟲 (初入文壇)
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2樓2012-11-28 14:05:35
3樓2014-04-04 16:38:29
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