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jamie82木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
一三三
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[求助]
如何才能防止/減輕TFT中SiN出現(xiàn)氣泡？ 已有1人參與
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我們?cè)谏a(chǎn)LTPS-TFT時(shí)在ITO像素電極烘烤(230℃-60min)后出現(xiàn)Passivation層(材質(zhì)為SiN，CVD成膜)氣泡，有什么方法可以防止或減輕氣泡發(fā)生嗎？ 小弟在此拜謝了！  |
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3樓2014-04-04 16:38:29
wwlong
銀蟲(chóng) (初入文壇)
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2樓2012-11-28 14:05:35
lp806376231
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- 專(zhuān)業(yè): 同步輻射技術(shù)及其應(yīng)用
4樓2014-04-26 18:51:45
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