 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 2754 | 回復(fù): 14 | ||
[求助]
氧化鋁----陶瓷和單晶---磁控濺射
|
||
|
哪位大俠能夠系統(tǒng)的介紹一下氧化鋁？主要是它的形態(tài)。 磁控濺射中，用陶瓷的好，還是用單晶的好，陶瓷的可能會出現(xiàn)斷裂，兩者的鍍膜質(zhì)量和鍍出來的氧化鋁膜形態(tài)一樣嗎？ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有102人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 透明氧化鋁陶瓷在空氣中燒發(fā)紅
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 氧化鋁陶瓷白斑問題
已經(jīng)有11人回復(fù)
- 求助氧化鋁陶瓷SEM分析
已經(jīng)有34人回復(fù)
- 燒氧化鋁陶瓷為什么在氫氣氛圍下
已經(jīng)有19人回復(fù)
- 能再討論一下多孔氧化鋁陶瓷的新應(yīng)用嗎？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 多孔氧化鋁陶瓷材料的最新應(yīng)用領(lǐng)域
已經(jīng)有40人回復(fù)
- 有關(guān)氧化鋁陶瓷燒結(jié)后裂紋的現(xiàn)象，請大家分析原因
已經(jīng)有23人回復(fù)
- 氧化鋁陶瓷為什么有較低的摩擦系數(shù)？
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 氧化鋁陶瓷顏色和鼓泡的問題
已經(jīng)有25人回復(fù)
- 我想問一下從哪里可以買到八英寸的氧化鋁單晶或者陶瓷襯底
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 【求助】陶瓷金屬化 如何解決氧化鋁陶瓷在氫氣爐燒后釉面發(fā)黑 發(fā)黃
已經(jīng)有17人回復(fù)
- 【求助】關(guān)于氧化鋁陶瓷腐蝕
已經(jīng)有5人回復(fù)
bazhuayuyu
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 57 (初中生)
- 金幣: 2142.7
- 散金: 10
- 紅花: 19
- 帖子: 1091
- 在線: 272.6小時
- 蟲號: 419337
- 注冊: 2007-07-05
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
ncepuchen: 金幣+2, ★★★★★最佳答案 2012-09-07 14:48:18
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
ncepuchen: 金幣+2, ★★★★★最佳答案 2012-09-07 14:48:18
|
氧化鋁的形態(tài)？不清楚你要問什么 磁控濺射做氧化鋁膜沒有單晶靶，一般都是鋁靶反應(yīng)濺射，氧化鋁陶瓷做靶材對電源要求比較高，兩者鍍膜質(zhì)量一般來說陶瓷的好，但沉積速率慢，設(shè)備靶材都貴一些，鋁靶控制上要求高，控制得好薄膜質(zhì)量與陶瓷靶沒什么差別，兩種方法沉積的氧化鋁都有非晶成分，需要退火改善 |
ncepuchen2樓2012-09-07 13:08:06
bazhuayuyu
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 57 (初中生)
- 金幣: 2142.7
- 散金: 10
- 紅花: 19
- 帖子: 1091
- 在線: 272.6小時
- 蟲號: 419337
- 注冊: 2007-07-05
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
8樓2012-09-12 00:21:11
bazhuayuyu
木蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 57 (初中生)
- 金幣: 2142.7
- 散金: 10
- 紅花: 19
- 帖子: 1091
- 在線: 272.6小時
- 蟲號: 419337
- 注冊: 2007-07-05
- 專業(yè): 無機非金屬類光電信息與功
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★
ncepuchen: 金幣+3, ★★★★★最佳答案 2012-09-13 12:32:22
ncepuchen: 金幣+3, ★★★★★最佳答案 2012-09-13 12:32:22
|
不同的設(shè)備最好還是自己摸索一下，如果直流我覺得Ar流量可以先參考你們沉積鋁膜的流量，O2流量多少會影響到靶表面氧化程度，氧化程度高靶表面不導(dǎo)電的區(qū)域會聚集電荷放電，當讓更高會引起靶中毒，所以需要自己觀察和調(diào)節(jié)，關(guān)于退火，我建議你如果有條件就比較一下氧氣和空氣下有無差別，溫度時間還是要去試的，我記得ALD沉積氧化鋁一般是在反應(yīng)氣體環(huán)境下400到450度退火的 |
11樓2012-09-12 22:26:29
wu1008
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
- 金幣: 1486.4
- 散金: 176
- 紅花: 14
- 帖子: 1788
- 在線: 197.6小時
- 蟲號: 1859230
- 注冊: 2012-06-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
3樓2012-09-07 14:38:12
4樓2012-09-07 14:55:22
5樓2012-09-07 14:58:58
wu1008
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 243 (大學(xué)生)
- 金幣: 1486.4
- 散金: 176
- 紅花: 14
- 帖子: 1788
- 在線: 197.6小時
- 蟲號: 1859230
- 注冊: 2012-06-14
- 性別: GG
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
6樓2012-09-07 15:19:16
7樓2012-09-11 23:27:54
9樓2012-09-12 21:34:07
10樓2012-09-12 21:49:21
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 ncepuchen 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料科學(xué)與工程求調(diào)劑 +13 | 深V宿舍吧 2026-03-29 | 13/650 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 一志愿武理材料工程302調(diào)劑環(huán)化或化工 +8 | Doleres 2026-03-31 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 材料工程085601數(shù)二英一335求調(diào)劑 +5 | 雙馬尾痞老板2 2026-03-31 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑推薦 材料 304 +18 | 荷包蛋hyj 2026-03-26 | 18/900 |
|
|
[考研] 346求調(diào)劑 一志愿070303有機化學(xué) +11 | 蘿卜燉青菜 2026-03-28 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 282求調(diào)劑 不挑專業(yè) 求收留 +4 | Yam. 2026-03-30 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 生物考研337分求調(diào)劑 +4 | cgxin 2026-03-30 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑310 +13 | 溫柔的晚安 2026-03-25 | 14/700 |
|
|
|
[考研] 一志愿鄭大材料工程290求調(diào)劑 +12 | Youth_ 2026-03-30 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 317求調(diào)劑 +8 | 十閑wx 2026-03-24 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 327求調(diào)劑 +5 | 小卡不卡. 2026-03-29 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 292求調(diào)劑 +13 | 是妍子也是研子 2026-03-30 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 337求調(diào)劑 +6 | 《樹》 2026-03-29 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 356求調(diào)劑 +4 | gysy?s?a 2026-03-28 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 2026年華南師范大學(xué)歡迎化學(xué)，化工，生物，生醫(yī)工等專業(yè)優(yōu)秀學(xué)子加入！ +3 | llss0711 2026-03-28 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 085600，專業(yè)課化工原理，321分求調(diào)劑 +5 | 大饞小子 2026-03-28 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +6 | 蘆lty 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿南京航空航天大學(xué)材料學(xué)碩求調(diào)劑 +3 | @taotao 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +9 | 小蠟新筆 2026-03-26 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +4 | 錦衣衛(wèi)藤椒 2026-03-25 | 4/200 |
|