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[求助]
氧化鋁----陶瓷和單晶---磁控濺射
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哪位大俠能夠系統(tǒng)的介紹一下氧化鋁？主要是它的形態(tài)。 磁控濺射中，用陶瓷的好，還是用單晶的好，陶瓷的可能會(huì)出現(xiàn)斷裂，兩者的鍍膜質(zhì)量和鍍出來(lái)的氧化鋁膜形態(tài)一樣嗎？ |
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4樓2012-09-07 14:55:22
bazhuayuyu
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【答案】應(yīng)助回帖
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氧化鋁的形態(tài)？不清楚你要問(wèn)什么 磁控濺射做氧化鋁膜沒(méi)有單晶靶，一般都是鋁靶反應(yīng)濺射，氧化鋁陶瓷做靶材對(duì)電源要求比較高，兩者鍍膜質(zhì)量一般來(lái)說(shuō)陶瓷的好，但沉積速率慢，設(shè)備靶材都貴一些，鋁靶控制上要求高，控制得好薄膜質(zhì)量與陶瓷靶沒(méi)什么差別，兩種方法沉積的氧化鋁都有非晶成分，需要退火改善 |
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ncepuchen2樓2012-09-07 13:08:06
wu1008
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3樓2012-09-07 14:38:12
5樓2012-09-07 14:58:58
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