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cdmagprs3g金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
直流磁控濺射tio2薄膜無(wú)法結(jié)晶
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wu1008
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你怎么判斷沒(méi)法結(jié)晶？ 只能說(shuō)，較薄的樣品，XRD，Raman等信號(hào)較弱， 而較厚的樣品，信號(hào)較強(qiáng)，你覺(jué)得已經(jīng)結(jié)晶了，其實(shí)都是結(jié)晶不好 |
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cdmagprs3g2樓2012-09-24 13:01:41
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3樓2012-09-24 19:03:48
Ivan_ye
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4樓2012-09-24 19:59:13
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但是我做的20分鐘出現(xiàn)銳鈦礦了，很弱的峰，我都懷疑那是不是。。 6樓2012-09-26 09:35:45
xiaomagescu
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7樓2012-09-26 12:26:30
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8樓2012-09-27 09:18:43
flash6669
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【答案】應(yīng)助回帖
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蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-10-16 07:43:24
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至于這個(gè)問(wèn)題，建議樓主小角度XRD再檢測(cè)一番，可能已經(jīng)結(jié)晶了。 如果依舊顯示的是沒(méi)有結(jié)晶的話(huà)，那么是不是和襯底有關(guān)系呀，因?yàn)楹鼙〉谋∧な芤r底形態(tài)的影響是很厲害的呀��！此外，還有，沉積速率的影響等等 |
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9樓2012-10-15 10:56:37
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