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cdmagprs3g金蟲 (小有名氣)
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直流磁控濺射tio2薄膜無法結(jié)晶
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| 用直流磁控濺射鍍TiO2薄膜，在相同條件下，較厚的二氧化鈦薄膜可以結(jié)晶，為什么較薄的二氧化鈦膜無法結(jié)晶哪？ |
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你怎么判斷沒法結(jié)晶？ 只能說，較薄的樣品，XRD，Raman等信號(hào)較弱， 而較厚的樣品，信號(hào)較強(qiáng)，你覺得已經(jīng)結(jié)晶了，其實(shí)都是結(jié)晶不好 |
cdmagprs3g2樓2012-09-24 13:01:41
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3樓2012-09-24 19:03:48
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但是我做的20分鐘出現(xiàn)銳鈦礦了，很弱的峰，我都懷疑那是不是。。 6樓2012-09-26 09:35:45
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至于這個(gè)問題，建議樓主小角度XRD再檢測(cè)一番，可能已經(jīng)結(jié)晶了。 如果依舊顯示的是沒有結(jié)晶的話，那么是不是和襯底有關(guān)系呀，因?yàn)楹鼙〉谋∧な芤r底形態(tài)的影響是很厲害的呀�。〈送�，還有，沉積速率的影響等等 |
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