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CVD內(nèi)壓強問題
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機械泵對管式爐進行抽真空，穩(wěn)定后壓力使400多Pa（系統(tǒng)密封不好），通入Ar氣后，壓力反而下降到300多Pa，這是怎么回事？ 還有不抽真空，只通Ar氣時，尾氣管直接連通大氣，爐內(nèi)壓力始終維持在400多Pa（我在爐管的出氣口附近裝了一個電阻真空計測得的）請問這又是怎么回事？ 怎樣控制爐內(nèi)的壓力,我嘗試調(diào)節(jié)Ar氣的流量發(fā)現(xiàn)對壓力沒有影響的。 不好意思，第一次接觸這些東西，所以問題比較多，希望大家?guī)蛶兔Α? |
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wulishi8
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