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[求助] CVD內(nèi)壓強問題

機械泵對管式爐進行抽真空，穩(wěn)定后壓力使400多Pa（系統(tǒng)密封不好），通入Ar氣后，壓力反而下降到300多Pa，這是怎么回事？
還有不抽真空，只通Ar氣時，尾氣管直接連通大氣，爐內(nèi)壓力始終維持在400多Pa（我在爐管的出氣口附近裝了一個電阻真空計測得的）請問這又是怎么回事？
怎樣控制爐內(nèi)的壓力,我嘗試調(diào)節(jié)Ar氣的流量發(fā)現(xiàn)對壓力沒有影響的。
不好意思，第一次接觸這些東西，所以問題比較多，希望大家?guī)蛶兔Α?

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1樓 2012-09-29 19:08:19

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yexyz: 金幣+5, ★有幫助 2012-10-05 18:51:46

第一，先確定你的真空計檢測的壓強是否準(zhǔn)確，我懷疑這個有問題（不是壓力）；
第二，將系統(tǒng)密封性做好，否則對實驗影響非常大；你用機械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空計不行了），那你的密封性得多差啊。
做完以上，如果還有問題，你再提問，我再和你討論下一步吧。

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yexyz

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2樓2012-09-30 01:52:02

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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

一，先確定你的真空計檢測的壓強是否準(zhǔn)確，我懷疑這個有問題（不是壓力）；
第二，將系統(tǒng)密封性做好，否則對實驗影響非常大；你用機械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空計不行了），那你的密封性得多差啊。
做完以上，如果還有問題，你再提問，我再和你討論下一步吧。

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3樓2012-09-30 02:28:49

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引用回帖:

2樓: Originally posted by wulishi8 at 2012-09-30 01:52:02
第一，先確定你的真空計檢測的壓強是否準(zhǔn)確，我懷疑這個有問題（不是壓力）；
第二，將系統(tǒng)密封性做好，否則對實驗影響非常大；你用機械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空計不行了），那你的密封性得多差啊。
...

系統(tǒng)的密封性是很差，連接管道的各種接頭太多了。我剛開始也是懷疑真空計有問題，后來把電阻規(guī)直接暴露在空氣中，也能顯示差不多一個大氣壓。有什么其他方法可以檢查真空計是否有問題嗎？

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4樓2012-09-30 09:50:20

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不是太大

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5樓2012-09-30 11:09:27

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引用回帖:

4樓: Originally posted by yexyz at 2012-09-30 09:50:20
系統(tǒng)的密封性是很差，連接管道的各種接頭太多了。我剛開始也是懷疑真空計有問題，后來把電阻規(guī)直接暴露在空氣中，也能顯示差不多一個大氣壓。有什么其他方法可以檢查真空計是否有問題嗎？...

不做好密封，談別的還尚早啊。
你是沒見過我用的CVD，那個接頭幾十個是有的，照樣抽到10-8mbar。用不銹鋼的接頭，一個個用酒精檢查密封性吧。

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6樓2012-10-05 19:56:03

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引用回帖:

6樓: Originally posted by wulishi8 at 2012-10-05 19:56:03
不做好密封，談別的還尚早啊。
你是沒見過我用的CVD，那個接頭幾十個是有的，照樣抽到10-8mbar。用不銹鋼的接頭，一個個用酒精檢查密封性吧。...

謝謝您的建議，一些東西正在購買過程中。能看看我的第二個問題嗎：為什么不抽真空只通Ar，爐子內(nèi)壓力會這么低呢？

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7樓2012-10-06 15:13:52

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不說別的做實驗最重要的是安全這樣的氣密性很不安全的
你應(yīng)該說一下你用的什么表表出問題的可能性比較大
氣密性的檢查我個人的經(jīng)驗是用肥皂水摸到各個接頭處然后通一定流量的惰性氣體或者氮氣自然就吹泡泡了很簡單有問題的地方可以買那種箍然后抹上密封膠或者纏上膠帶

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8樓2012-10-07 11:22:40

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如果表壞了氬氣是多少都沒用
如果表沒壞你通過的流量本身就沒多大弄個流量計測一下或者數(shù)泡泡

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9樓2012-10-07 11:24:33

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9樓: Originally posted by gottlieb at 2012-10-07 11:24:33
如果表壞了氬氣是多少都沒用
如果表沒壞你通過的流量本身就沒多大弄個流量計測一下或者數(shù)泡泡

電阻真空計沒壞，用的是七星的流量控制器。

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10樓2012-10-07 16:16:54

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