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[求助]
CVD內(nèi)壓強(qiáng)問題
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機(jī)械泵對(duì)管式爐進(jìn)行抽真空，穩(wěn)定后壓力使400多Pa（系統(tǒng)密封不好），通入Ar氣后，壓力反而下降到300多Pa，這是怎么回事？ 還有不抽真空，只通Ar氣時(shí)，尾氣管直接連通大氣，爐內(nèi)壓力始終維持在400多Pa（我在爐管的出氣口附近裝了一個(gè)電阻真空計(jì)測(cè)得的）請(qǐng)問這又是怎么回事？ 怎樣控制爐內(nèi)的壓力,我嘗試調(diào)節(jié)Ar氣的流量發(fā)現(xiàn)對(duì)壓力沒有影響的。 不好意思，第一次接觸這些東西，所以問題比較多，希望大家?guī)蛶兔Α? |
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7樓2012-10-06 15:13:52
wulishi8
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
yexyz: 金幣+5, ★有幫助 2012-10-05 18:51:46
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yexyz: 金幣+5, ★有幫助 2012-10-05 18:51:46
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第一，先確定你的真空計(jì)檢測(cè)的壓強(qiáng)是否準(zhǔn)確，我懷疑這個(gè)有問題（不是壓力）； 第二，將系統(tǒng)密封性做好，否則對(duì)實(shí)驗(yàn)影響非常大；你用機(jī)械泵抽到400Pa就下不去了（如果不是真空計(jì)不行了），那你的密封性得多差啊。 做完以上，如果還有問題，你再提問，我再和你討論下一步吧。 |
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yexyz
2樓2012-09-30 01:52:02
huagong2008
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