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lootus木蟲 (小有名氣)
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電鏡觀察樣品斷面的技巧
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我先介紹下樣品,硅片表面有一層微相分離的聚合物薄膜,膜厚約130nm,薄膜具有片層納米結構,尺寸約40nm,用掃描電鏡完全可以直接觀察樣品表面的納米結構。 希望看這種納米結構是否貫穿于整個膜厚(130nm),所以要看斷面。我目前是直接將硅片裂開,選比較整齊的斷面,直接觀察。這樣只能看到這一層薄膜的存在,完全無法觀察到斷面的細節(jié)(40nm左右的結構)。 請問有什么好辦法?包括制樣和觀察。謝謝! |
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