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lootus木蟲 (小有名氣)
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[求助]
電鏡觀察樣品斷面的技巧
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我先介紹下樣品，硅片表面有一層微相分離的聚合物薄膜，膜厚約130nm，薄膜具有片層納米結(jié)構(gòu)，尺寸約40nm，用掃描電鏡完全可以直接觀察樣品表面的納米結(jié)構(gòu)。 希望看這種納米結(jié)構(gòu)是否貫穿于整個膜厚（130nm），所以要看斷面。我目前是直接將硅片裂開，選比較整齊的斷面，直接觀察。這樣只能看到這一層薄膜的存在，完全無法觀察到斷面的細(xì)節(jié)（40nm左右的結(jié)構(gòu)）。 請問有什么好辦法？包括制樣和觀察。謝謝！ |
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