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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 綜合其他 » 請教光刻的一些問題
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SleepTooLong銀蟲 (小有名氣)
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[交流]
請教光刻的一些問題 已有3人參與
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一篇光刻的文章，講偏差的部分，原文： Definition : the state of Abnormal optical condition,path ; It’s related to lens polishing & assembly accuracy. There are around 6 kinds of Aberration : (1) Spherical Ab.,(2) Coma, (3) Field Curvature, (4) Distortion, (5)Astigmatism, (6) Chromatic Ab. This is not easy to improve after lens assembly finished : Because this comes from lens itself. This is the reason why Lens evaluation specification is so important. 請教下6種情況具體指什么？謝謝！ |
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 yswyx的關(guān)于光刻的各種回復 |
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yswyx 
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