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justwwt

新蟲(chóng) (初入文壇)

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[求助] sem看二氧化硅薄膜看不到怎么辦已有1人參與

薄膜上鍍了一層二氧化硅，想看看表面形貌，噴PT后（大概0.8nm），在鎢絲SEM下怎么調(diào)都看不清，請(qǐng)問(wèn)制樣有什么問(wèn)題，或者是鎢絲電鏡的分辨率不夠，要換場(chǎng)發(fā)射電鏡。有過(guò)此經(jīng)歷的大俠們告訴小弟啊

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1樓 2013-01-29 22:07:19

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hfutjzy

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【答案】應(yīng)助回帖

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引用回帖:

7樓: Originally posted by justwwt at 2013-01-30 13:09:47
基地是薄膜，上面鍍的二氧化硅，表面是很整，縱切面也看了，也是看不清。這個(gè)是不是場(chǎng)發(fā)射的電鏡有關(guān)系嗎？...

平整的表面電鏡是看不清的，什么電鏡都不行，因?yàn)闆](méi)有襯度，如果表面很平整你又想看表面形貌的話我建議你試試原子力顯微鏡AFM。
你的切面沒(méi)有道理看不到的啊，你確定你的切面切得夠好么，這樣的薄膜，看切面制樣要花一定功夫的。如果還有條件，去TEM上看看，可以看到切面的。

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9樓2013-01-30 14:20:15

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cord

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【答案】應(yīng)助回帖

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需要場(chǎng)發(fā)射電鏡。
有不需要噴PT之間可以做電鏡的場(chǎng)發(fā)射電鏡做。

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2樓2013-01-29 23:31:38

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hfutjzy

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

你的膜表面很平吧，比較平淡表面SEM里面是沒(méi)有對(duì)比度的，所以看縱切面更容易一點(diǎn)，另外，你的電鏡是不是場(chǎng)發(fā)射的，不是場(chǎng)發(fā)射的話，把束斑尺寸調(diào)小點(diǎn)，加速電壓調(diào)小點(diǎn)

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3樓2013-01-30 08:06:27

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zizikiller

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如果是bare wafer的話，很難聚焦。最好要cross section.
問(wèn)題是你研究的重點(diǎn)是什么。為什么要看 SiO2.知道目的才能更好的解答

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4樓2013-01-30 10:08:01

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普通表情龍兔虎貓

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