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藍(lán)風(fēng)敘木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
做等離子的蟲(chóng)友 請(qǐng)進(jìn)..........微波等離子出了點(diǎn)問(wèn)題，求解
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上周末做實(shí)驗(yàn)，用的微波等離子 條件如下： 壓力：10Pa，氣體：N2/O2=8:2 氣體流量200sccm 能量：700w 樣品臺(tái)距離 微波頂15cm 調(diào)整E-H tunner過(guò)程中，從監(jiān)視窗看到腔體里面似乎出現(xiàn)了閃光，實(shí)驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)放在腔體里面的金屬網(wǎng)上出現(xiàn)了如圖所示的 斑點(diǎn)，似乎出現(xiàn)了電弧........求解，有人遇到過(guò)這種情況嗎？ 123.jpg 設(shè)備圖.jpg |
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2樓2013-02-19 16:12:04
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3樓2013-02-26 17:45:16
leongoall
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4樓2013-02-27 03:58:57
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5樓2013-02-27 08:34:12
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6樓2013-02-28 06:06:02
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7樓2013-03-01 18:11:17
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