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藍(lán)風(fēng)敘木蟲 (著名寫手)
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[求助]
做等離子的蟲友 請進(jìn)..........微波等離子出了點(diǎn)問題，求解
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上周末做實(shí)驗(yàn)，用的微波等離子 條件如下： 壓力：10Pa，氣體：N2/O2=8:2 氣體流量200sccm 能量：700w 樣品臺距離 微波頂15cm 調(diào)整E-H tunner過程中，從監(jiān)視窗看到腔體里面似乎出現(xiàn)了閃光，實(shí)驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)放在腔體里面的金屬網(wǎng)上出現(xiàn)了如圖所示的 斑點(diǎn)，似乎出現(xiàn)了電弧........求解，有人遇到過這種情況嗎？ 123.jpg 設(shè)備圖.jpg |
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藍(lán)風(fēng)敘
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