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risktaker111金蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射 偏壓 用途
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| 實(shí)驗(yàn)用的是沈科儀的磁控濺射設(shè)備，電源有2個(gè)直流，一個(gè)交流，請(qǐng)問偏壓電源是什么時(shí)候用呢？是在用永磁靶時(shí)嗎？還是其他的？如何用呢？謝謝。 |
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wolfghost
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【答案】應(yīng)助回帖
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根據(jù)資料介紹：偏壓電源的作用 1）提高真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量，轟擊清洗所鍍工件表面，使工件表面經(jīng)受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層，從而提高后續(xù)沉積膜層的結(jié)合力 2）提高并控制真空等離子體內(nèi)帶電粒子的能量，提高膜層與工件基體結(jié)合力 3）靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規(guī)則，調(diào)整膜層顏色 4）克服偏壓電源工作于真空等離子體環(huán)境中，由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件 其工作原理是： 偏壓電源工作于二級(jí)高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調(diào)整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實(shí)現(xiàn)，調(diào)壓電路具有1%的穩(wěn)率。高頻變換電路產(chǎn)生10-90%脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨(dú)立調(diào)整，在滿足工藝所需電壓同時(shí)，通過改變脈沖寬度來控工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍膜 。 給一篇使用偏壓的文獻(xiàn)給樓主進(jìn)一步參考  鏈接：https://wenku.baidu.com/view/517b67707fd5360cba1adbd9.html |
2樓2013-03-09 10:47:19
匿名
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3樓2013-03-09 10:58:42
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5樓2013-08-20 14:31:15
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