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請問有誰熟知“TiN電極”材料？能否做成點電極在上面測試結(jié)構(gòu)的電性能？
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各位蟲友： 你們好！拜托請教一個關(guān)于TiN電極的問題。 我現(xiàn)在做的是HfO2摻雜的薄膜，結(jié)構(gòu)是Si/SiO2/Si:HfO2/TiN。希望用TiN作為電極。但是我看到別人做的在TiN上面還加了一層poly-Si電極。我不知道能否直接在TiN上面測試？如果可以將方便得多。 |
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