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kang_xj

新蟲 (初入文壇)

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專業(yè): 超導(dǎo)電工學(xué)

[求助] 為什么不能用CF4氣體做Al膜的反應(yīng)離子刻蝕

曾經(jīng)聽說氟化物與Al反應(yīng)生成的AlF3是一種難揮發(fā)的物質(zhì)~~

之前在做Al的反應(yīng)離子刻蝕的時(shí)候，不小心用成了CF4氣體，接下來用Ar+刻蝕Al一點(diǎn)效果都沒有了，請問為什么會這樣哩？~請各位大神賜教

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1樓 2013-03-29 21:59:32

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晚街聽雨

新蟲 (小有名氣)

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專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料

請問樓主原因找到了沒

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學(xué)習(xí)者

2樓2019-08-16 07:58:17

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