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kang_xj新蟲 (初入文壇)
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[求助]
為什么不能用CF4氣體做Al膜的反應(yīng)離子刻蝕
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曾經(jīng)聽說氟化物與Al反應(yīng)生成的AlF3是一種難揮發(fā)的物質(zhì)~~ 之前在做Al的反應(yīng)離子刻蝕的時候，不小心用成了CF4氣體，接下來用Ar+刻蝕Al一點效果都沒有了，請問為什么會這樣哩？~請各位大神賜教 |
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2樓2019-08-16 07:58:17
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