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北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

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[求助] PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 嗎？-----我是學(xué)物理的，但是需要用到這幾種試劑，內(nèi)詳

故事簡化來說是這樣的：
（1）做電子束光刻的樣品在底層涂有PMMA，然后再在上面是石墨烯層；
（2）之后涂層是ZEP520A，這也是一種有機(jī)材料，主要成分是苯乙烯-氯甲基丙烯酸脂聚合物（我自己翻譯的，不是確切翻譯）;
（3）光刻顯影后沉積金，需要用到 NMP（N-甲基吡咯烷酮）或者DMAC（二甲基酰胺）做剝離，所以這時的問題是以上這兩種溶液對 PMMA 有影響嗎？我希望的是PMMA不溶解。

總的來說，我想尋找這樣一種聚合物x 和溶劑y：這種聚合物x 能用于電子束光刻和顯影，溶劑y 只能溶解這種聚合物，而不溶解PMMA.

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1樓 2013-04-02 23:40:18

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love-study

至尊木蟲 (職業(yè)作家)

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好像可以溶解PMMA;至少DMF是可以溶解的。并且兩種溶劑還都是極性溶劑；方便你可以用PMMA試試。

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學(xué)海無涯

2樓2013-04-03 07:49:00

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2樓: Originally posted by love-study at 2013-04-03 07:49:00
好像可以溶解PMMA;至少DMF是可以溶解的。并且兩種溶劑還都是極性溶劑；方便你可以用PMMA試試。

DMF 是二甲基甲酰胺，
DMAC 是二甲基乙酰胺，
前者溶的話，后者就玄了。我手頭是有PMMA，沒有溶劑。

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3樓2013-04-03 20:55:48

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killxmanx

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倒不是說極性的就可以溶解PMMA，極性大的如甲醇乙醇就不溶解PMMA。
對于電子束光刻和顯影這類不太懂，不溶解的PMMA溶劑倒是挺多的，環(huán)己烷，醇類，乙醚，石油醚等等，你可以根據(jù)這些選擇一下

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東東西西

4樓2013-04-05 12:32:12

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4樓: Originally posted by killxmanx at 2013-04-05 12:32:12
倒不是說極性的就可以溶解PMMA，極性大的如甲醇乙醇就不溶解PMMA。
對于電子束光刻和顯影這類不太懂，不溶解的PMMA溶劑倒是挺多的，環(huán)己烷，醇類，乙醚，石油醚等等，你可以根據(jù)這些選擇一下

謝謝大家，我已經(jīng)找到了答案。

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5樓2013-04-11 04:02:57

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答案是啥？

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6樓2013-04-11 07:51:25

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6樓: Originally posted by 我是特種兵 at 2013-04-11 07:51:25
答案是啥？

用一種負(fù)膠，主要成分我也不知道是什么，但是是溶解在 PGMEA(丙二醇甲醚乙酸酯) 中的有機(jī)物，在電子束的作用下，有機(jī)物發(fā)生聚合（如果是正膠是聚合物的鏈發(fā)生斷裂），這樣在四甲基氫氧化銨中（這是一種堿性溶液），沒有被電子束作用過的地方就會溶解嗎（這就是顯影過程），而 PMMA層則不會發(fā)生反應(yīng)；如果在此堿性溶液中浸泡更長時間，所有的負(fù)膠都會溶解，這就是剝離Lift-off 過程。整個過程對 PMMA無影響。

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7樓2013-04-11 18:56:34

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