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[求助]
PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 嗎？-----我是學(xué)物理的，但是需要用到這幾種試劑，內(nèi)詳
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故事簡化來說是這樣的： （1）做電子束光刻的樣品在底層涂有PMMA，然后再在上面是石墨烯層； （2）之后涂層是ZEP520A， 這也是一種有機(jī)材料，主要成分是 苯乙烯-氯甲基丙烯酸脂聚合物（我自己翻譯的，不是確切翻譯）; （3）光刻顯影后沉積金，需要用到 NMP（N-甲基吡咯烷酮）或者DMAC（二甲基酰胺）做剝離，所以這時(shí)的問題是以上這兩種溶液對(duì) PMMA 有影響嗎？我希望的是PMMA不溶解。 總的來說，我想尋找這樣一種 聚合物x 和 溶劑y：這種聚合物x 能用于電子束光刻和顯影，溶劑y 只能溶解這種聚合物，而不溶解PMMA. |
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5樓2013-04-11 04:02:57
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