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PMMA 溶于 NMP 或者 DMAC 嗎?-----我是學(xué)物理的,但是需要用到這幾種試劑,內(nèi)詳
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故事簡化來說是這樣的: (1)做電子束光刻的樣品在底層涂有PMMA,然后再在上面是石墨烯層; (2)之后涂層是ZEP520A, 這也是一種有機材料,主要成分是 苯乙烯-氯甲基丙烯酸脂聚合物(我自己翻譯的,不是確切翻譯); (3)光刻顯影后沉積金,需要用到 NMP(N-甲基吡咯烷酮)或者DMAC(二甲基酰胺)做剝離,所以這時的問題是以上這兩種溶液對 PMMA 有影響嗎?我希望的是PMMA不溶解。 總的來說,我想尋找這樣一種 聚合物x 和 溶劑y:這種聚合物x 能用于電子束光刻和顯影,溶劑y 只能溶解這種聚合物,而不溶解PMMA. |


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