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tanaguditana新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射ZnO薄膜，出來是黑灰色的，求教
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大家好！想請教一個問題。我做出來的ZnO薄膜是黑灰色的，怎么回事�。� 直流反應(yīng)磁控濺射，用的Zn靶，濺射電流0.7安培，電壓在266-285V之間，本底氣壓3e-3Pa，工作氣壓1Pa，偏壓75V，預(yù)濺射5分鐘，濺射時間2小時:基底是Corning玻璃，基底溫度200度。Ar與O2比為2比1 我用一個舊的Zn靶和一個新的Zn靶做出來都是黑灰色的，應(yīng)該不是靶的問題吧。玻璃基底也按丙酮乙醇去離子水三步清洗了。之前別人用同一臺設(shè)備鍍過Al和AZO。 求教！！   [ Last edited by tanaguditana on 2013-4-11 at 10:34 ] |
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tanaguditana
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