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sunch2897至尊木蟲 (文壇精英)
夢小尋
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[求助]
AZ4620膠的剝離
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| 請教一下，用AZ4620光刻后，由于ICP刻蝕時間較長導(dǎo)致光刻膠變性，丙酮浸泡2天仍無法去除，有什么好的辦法？ |
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靜靜一yi
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2樓2013-04-15 09:57:58
sunch2897
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4樓2013-04-15 13:44:02
sunch2897
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5樓2013-04-15 16:52:30
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一般ICP刻蝕以后的膠，都碳化或者交聯(lián)了。用普通的溶劑都是很難去除的。 有幾個辦法： 1. KOH溶液漂，首先你的器件要不在乎金屬離子沾污，電子器件不能用這個方法，同時硅是很容易被KOH腐蝕的，要小心。 2. 濃硫酸泡，直接把光刻膠脫水碳化掉。但是你的片子有容易氧化的材料，要小心。 3. 用更強的去膠液，傳統(tǒng)的不行，用二甲亞砜這種通用的強溶劑來試試。 如果材料不耐氧化，那么最好不要用ICP刻蝕這種方法，或者換一種容易去除的膠。 |
6樓2013-04-15 17:28:18
7樓2013-04-16 09:10:18
8樓2013-04-16 09:13:22
sunch2897
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9樓2013-04-16 13:53:44
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