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sunch2897至尊木蟲(chóng) (文壇精英)
夢(mèng)小尋
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[求助]
AZ4620膠的剝離
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| 請(qǐng)教一下，用AZ4620光刻后，由于ICP刻蝕時(shí)間較長(zhǎng)導(dǎo)致光刻膠變性，丙酮浸泡2天仍無(wú)法去除，有什么好的辦法？ |
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靜靜一yi
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2樓2013-04-15 09:57:58
sunch2897
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3樓2013-04-15 10:01:55
moonwy
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4樓2013-04-15 13:44:02
sunch2897
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5樓2013-04-15 16:52:30
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【答案】應(yīng)助回帖
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sunch2897: 金幣+3, ★★★★★最佳答案, 非常感謝您的熱心回復(fù)，結(jié)合我的情況看來(lái)只能用第三種辦法了 2013-04-16 08:53:31
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124685887: 金幣+1, 歡迎應(yīng)助，常來(lái)交流 2013-04-16 19:04:05
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一般ICP刻蝕以后的膠，都碳化或者交聯(lián)了。用普通的溶劑都是很難去除的。 有幾個(gè)辦法： 1. KOH溶液漂，首先你的器件要不在乎金屬離子沾污，電子器件不能用這個(gè)方法，同時(shí)硅是很容易被KOH腐蝕的，要小心。 2. 濃硫酸泡，直接把光刻膠脫水碳化掉。但是你的片子有容易氧化的材料，要小心。 3. 用更強(qiáng)的去膠液，傳統(tǒng)的不行，用二甲亞砜這種通用的強(qiáng)溶劑來(lái)試試。 如果材料不耐氧化，那么最好不要用ICP刻蝕這種方法，或者換一種容易去除的膠。 |
6樓2013-04-15 17:28:18
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