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有沒有使用 AZ 40 XT 光刻膠的同學(xué),交流一下。
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金蟲 (著名寫手)
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spray coating 可以涂很厚的膠,在厚膠方面,均勻性比旋涂要好。而且一般厚膠貴,用spray會(huì)很省膠。最好的是,spray可以擴(kuò)大光刻膠的使用范圍,比如原來旋涂40um的,噴成80um一樣用。設(shè)備可以看www.memstools.cn這個(gè)網(wǎng)站。 以前做過4620的reflow,還是比較容易reflow的。但是要是做80um就不行了,即使噴膠也不行,光刻的時(shí)候會(huì)有泡。 AZ的XT系列可以按厚度買,比如你的40XT就是40um標(biāo)準(zhǔn)厚度。有100XT的。 |
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