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mlzwm木蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助：區(qū)熔法生長單晶硅
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| 在區(qū)熔發(fā)生在單晶硅的過程中，需經(jīng)過預(yù)熱流程，想問下預(yù)熱后硅的溫度大概問多少？請大俠們指教 |
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sucurse
銅蟲 (小有名氣)
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12樓2013-10-18 19:18:02
SCU_magiclee
鐵桿木蟲 (正式寫手)
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2樓2013-04-17 21:26:35
mlzwm
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3樓2013-04-21 17:24:31
SCU_magiclee
鐵桿木蟲 (正式寫手)
硅材料研發(fā)人員
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
mlzwm: 金幣+10, ★★★很有幫助 2013-04-22 09:00:41
mlzwm: 金幣+10, ★★★很有幫助 2013-04-22 09:00:41
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拉單晶的原料雖然也叫多晶硅，但其實是微晶硅，基本上可以看做是絕緣體，必須要加熱到導(dǎo)電狀態(tài)電磁加熱才能發(fā)揮作用，就像接力一樣。其實在余熱的時候，高頻線圈也在發(fā)揮作用，實際的情況是預(yù)熱叉里的石墨被高頻線圈加熱來“烘烤”多晶棒，多晶硅棒“變紅”的一瞬間馬上拿開預(yù)熱叉，不然就污染了（碳和氧會從預(yù)熱叉擴(kuò)散進(jìn)入熔體）。后面就靠線圈進(jìn)行加熱了�！白兗t”這個狀態(tài)的溫度和熔點(diǎn)基本上是同一溫度了。 |
4樓2013-04-21 20:14:04
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