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mlzwm木蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助:區(qū)熔法生長單晶硅
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| 在區(qū)熔發(fā)生在單晶硅的過程中,需經(jīng)過預(yù)熱流程,想問下預(yù)熱后硅的溫度大概問多少?請大俠們指教 |
金蟲 (初入文壇)
鐵桿木蟲 (正式寫手)
硅材料研發(fā)人員

木蟲 (小有名氣)
鐵桿木蟲 (正式寫手)
硅材料研發(fā)人員
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拉單晶的原料雖然也叫多晶硅,但其實是微晶硅,基本上可以看做是絕緣體,必須要加熱到導(dǎo)電狀態(tài)電磁加熱才能發(fā)揮作用,就像接力一樣。其實在余熱的時候,高頻線圈也在發(fā)揮作用,實際的情況是預(yù)熱叉里的石墨被高頻線圈加熱來“烘烤”多晶棒,多晶硅棒“變紅”的一瞬間馬上拿開預(yù)熱叉,不然就污染了(碳和氧會從預(yù)熱叉擴散進入熔體)。后面就靠線圈進行加熱了!白兗t”這個狀態(tài)的溫度和熔點基本上是同一溫度了。 |

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