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直流濺射Al膜總是被氧化 已有2人參與
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| 直流濺射鋁膜，膜是黑色的，經(jīng)過能譜分析，證明是氧化鋁，但是百思不得其解，為什么被氧化，濺射的時候本地真空為2*10-4，氬氣純度也很高時五個九的，氬氣流量為15ml/min,功率為100W到160W都試過，而且還有個疑問靶材中間部分和邊緣部分都為黑色，考慮是不是這個導(dǎo)致的制備出來的Al膜都是黑色的？請問大家有沒有出現(xiàn)過相同的情況，或是有什么好的建議？ |
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csudog
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csudog
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10樓2014-07-07 11:29:00
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