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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 硅片形貌處理問題
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咕嚕0魚銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
硅片形貌處理問題
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買了兩家不同廠家的硅片，都是N型的，晶向<100>,唯一不同的是電阻率一個是<0.01Ω cm，一個是0.01-0.02Ω cm。在顯微鏡下看，相同的倍數(shù)得到的圖片是這樣的，想請教一下各位能不能把第一種（<0.01Ω cm）腐蝕成第二種（0.01-0.02Ω cm）呢？ 第一種.jpg 第二種.jpg |
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yswyx 
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4樓2013-04-26 21:14:15
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