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咕嚕0魚

銀蟲(chóng) (小有名氣)

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[求助] 硅片形貌處理問(wèn)題

買了兩家不同廠家的硅片，都是N型的，晶向<100>,唯一不同的是電阻率一個(gè)是<0.01Ω cm，一個(gè)是0.01-0.02Ω cm。在顯微鏡下看，相同的倍數(shù)得到的圖片是這樣的，想請(qǐng)教一下各位能不能把第一種（<0.01Ω cm）腐蝕成第二種（0.01-0.02Ω cm）呢？

第一種.jpg

第二種.jpg

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1樓 2013-04-24 21:35:36

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reninhat

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5樓2013-04-27 08:48:55

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yswyx

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咕嚕0魚: 金幣+2, ★有幫助 2013-04-26 19:15:58

非常感興趣這個(gè)實(shí)驗(yàn)。
你兩種硅片分別是買的誰(shuí)家的？
從腐蝕效果上看第二種好像片子質(zhì)量要差。腐蝕是沿著缺陷的位置先腐蝕的，所以100面典型的方坑如果密度大的話，應(yīng)該缺陷密度也大。

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2樓2013-04-25 17:48:51

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引用回帖:

2樓: Originally posted by yswyx at 2013-04-25 17:48:51
非常感興趣這個(gè)實(shí)驗(yàn)。
你兩種硅片分別是買的誰(shuí)家的？
從腐蝕效果上看第二種好像片子質(zhì)量要差。腐蝕是沿著缺陷的位置先腐蝕的，所以100面典型的方坑如果密度大的話，應(yīng)該缺陷密度也大。

缺陷密度大的電阻率會(huì)更小嗎？我圖放錯(cuò)位置了，要對(duì)換一下，你看到的密密麻麻的那種電阻率會(huì)小一點(diǎn)。感覺(jué)密密麻麻的這種放在堿里面會(huì)變成第一種。

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3樓2013-04-26 19:18:37

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咕嚕0魚: 金幣+18, ★有幫助, 3 2013-05-06 08:48:06

引用回帖:

3樓: Originally posted by 咕嚕0魚 at 2013-04-26 19:18:37
缺陷密度大的電阻率會(huì)更小嗎？我圖放錯(cuò)位置了，要對(duì)換一下，你看到的密密麻麻的那種電阻率會(huì)小一點(diǎn)。感覺(jué)密密麻麻的這種放在堿里面會(huì)變成第一種。...

這個(gè)解釋有可能成立。
因?yàn)�，電阻率小的話，摻雜就高，微缺陷的密度就高。

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4樓2013-04-26 21:14:15

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