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SleepTooLong銀蟲 (小有名氣)
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芯片封裝中的shot map指什么？ 已有2人參與
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124685887: MN-EPI+1, 知識豐富啊 2013-05-11 09:14:10
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火車上，提交的時候斷網(wǎng)了，又要輸一遍，悲催�。。�！ 這個shot map不是封裝的術(shù)語，純粹是光刻的，而且是只針對投影式步進光刻的。 在stepper光刻機中，reticle的圖形被縮小投影到wafer表面，曝光wafer上的光刻膠。reticle一般尺寸是5寸或者6寸，而縮小的倍率一般是4倍或者5倍，最后得到的曝光范圍是小于50mm的，一般是30mm左右見方。而對于wafer，從2寸到12寸，一次投影是不能完成整個面積的，必須要多次投影曝光才能覆蓋整個wafer。 shot，指的就是一次投影曝光，很形象的命名，就像照相機在照相的時候閃光燈flash一下。 map，半導(dǎo)體領(lǐng)域常用于表示某種分布，也是很形象的命名，用的很廣泛。 shot map，顧名思義，多次投影曝光在wafer上的分布。不同的產(chǎn)品，分布是不同的，甚至shot也是不同的，所以需要綜合考慮。 |
4樓2013-05-10 20:08:26
SleepTooLong
銀蟲 (小有名氣)
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3樓2013-05-10 14:51:28
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