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xiongnr鐵桿木蟲 (著名寫手)
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請問化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積有何區(qū)別？越詳細(xì)越好啊 已有5人參與
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求高人指點(diǎn) 請問化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積有何區(qū)別？越詳細(xì)越好啊 謝謝 |
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yuanliu1work
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3樓2013-07-04 08:32:46
cord 
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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| 英文上CVD和PVD的區(qū)別 常見PVD有分子束外延，電子束蒸度，磁控濺射等等，最根本的就是沉積的時間是否發(fā)生了化學(xué)變化，如果生產(chǎn)新的物質(zhì)自然是CVD。一般CVD是通過熱的或者等離子的外力，使分子裂解成碎片氣源，然后在基地上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沉積到基地上。而PVD就簡單了，就是通過RF,EB，等等把基地靶材打出分子，原子，然后沉積到基地物質(zhì)上，是個簡單的物理過程。如常見的磁控濺射吧，就是通過射頻等離子打到靶材上，然后沉積成納米厚的薄膜層。個人愚見，僅供參考 |
4樓2013-07-04 08:32:49
絲絲心弦
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5樓2013-07-04 10:42:47
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