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xiongnr鐵桿木蟲(chóng) (著名寫手)
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請(qǐng)問(wèn)化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積有何區(qū)別?越詳細(xì)越好啊 已有5人參與
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求高人指點(diǎn) 請(qǐng)問(wèn)化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積有何區(qū)別?越詳細(xì)越好啊 謝謝 |
木蟲(chóng) (著名寫手)
| 英文上CVD和PVD的區(qū)別 常見(jiàn)PVD有分子束外延,電子束蒸度,磁控濺射等等,最根本的就是沉積的時(shí)間是否發(fā)生了化學(xué)變化,如果生產(chǎn)新的物質(zhì)自然是CVD。一般CVD是通過(guò)熱的或者等離子的外力,使分子裂解成碎片氣源,然后在基地上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),沉積到基地上。而PVD就簡(jiǎn)單了,就是通過(guò)RF,EB,等等把基地靶材打出分子,原子,然后沉積到基地物質(zhì)上,是個(gè)簡(jiǎn)單的物理過(guò)程。如常見(jiàn)的磁控濺射吧,就是通過(guò)射頻等離子打到靶材上,然后沉積成納米厚的薄膜層。個(gè)人愚見(jiàn),僅供參考 |

鐵桿木蟲(chóng) (著名寫手)
金蟲(chóng) (著名寫手)

新蟲(chóng) (小有名氣)
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