 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1986 | 回復(fù): 6 | |||
thermoelectric木蟲 (小有名氣)
|
[求助]
如何得到大厚度均勻性好的光刻膠掩膜
|
| 現(xiàn)在在做深硅刻蝕，但是設(shè)備的選擇比相對較小，所以想加大膠的厚度，4-5微米，請問該怎么選擇膠和對應(yīng)的旋涂工藝才能保證膠的均勻性。先不用考慮膠分辨率的問題。 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
北京航空航天大學(xué)26級博士招生-生物醫(yī)學(xué)工程-合成生物學(xué)
已經(jīng)有20人回復(fù)
-
溫州大學(xué)王娟課題組2026年招生
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有295人回復(fù)
-
溫州大學(xué)2026年招生（化學(xué)、材料）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
招生負(fù)責(zé)_院士團(tuán)隊(duì)_學(xué)生高自由度成長_擅長學(xué)生培養(yǎng)
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
溫州大學(xué)招收2026年入學(xué)博士研究生（化學(xué)、材料、環(huán)境）
已經(jīng)有10人回復(fù)
-
非晶合金
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
院士團(tuán)隊(duì)-每屆學(xué)生都優(yōu)秀-高自由度-團(tuán)隊(duì)氛圍好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
求調(diào)劑
已經(jīng)有1人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對您同樣有幫助:
- 測光刻膠厚度
已經(jīng)有12人回復(fù)
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號(hào): 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
2樓2013-07-22 20:42:06
thermoelectric
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1850.3
- 散金: 47
- 紅花: 1
- 帖子: 73
- 在線: 156.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 412235
- 注冊: 2007-06-25
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
|
經(jīng)驗(yàn)上熱板溫度要控制在多少，對轉(zhuǎn)速有什么要求。4620相對抗刻點(diǎn)，SU8是不是更適合厚膠。 下面也是小木蟲上搜到的： 負(fù)性光刻膠用的最多的是SU-8膠。SU-8膠是一種較新的的基于環(huán)氧樹脂的化學(xué)增幅型負(fù)性近紫外光刻膠，具有良好的光敏性和高深寬比，適合于MEMS或MOEMS、UV-LIGA和其它超厚膜應(yīng)用。它的優(yōu)點(diǎn)有：一次旋涂可形成數(shù)百微米厚的膠層；可得到垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形；交聯(lián)以后具有良好的力學(xué)性能、抗化學(xué)腐蝕性、熱穩(wěn)定性和電絕緣性。但SU-8膠難以去除。 謝謝。 |
3樓2013-07-22 21:51:23
thermoelectric
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1850.3
- 散金: 47
- 紅花: 1
- 帖子: 73
- 在線: 156.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 412235
- 注冊: 2007-06-25
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
4樓2013-07-22 21:53:29
yswyx
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號(hào): 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
5樓2013-07-23 14:43:16
yswyx
專家顧問 (著名寫手)
-
專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
- 貴賓: 0.204
- 金幣: 2618.1
- 散金: 6018
- 紅花: 112
- 帖子: 2705
- 在線: 577.8小時(shí)
- 蟲號(hào): 446878
- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
6樓2013-07-23 14:43:35
captaincao
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 28
- 帖子: 2
- 在線: 49分鐘
- 蟲號(hào): 1985114
- 注冊: 2012-09-08
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
7樓2013-10-13 09:17:18
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 thermoelectric 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +3 | 妮妮ninicgb 2026-03-17 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 生物學(xué)071000 329分求調(diào)劑 +3 | 我愛生物生物愛?/a> 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085601求調(diào)劑 +4 | Du.11 2026-03-16 | 4/200 |
|
|
[考研] 【0856】化學(xué)工程（085602）313 分，本科學(xué)科評估A類院�；瘜W(xué)工程與工藝，誠求調(diào)劑 +7 | 小劉快快上岸 2026-03-11 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 有沒有道鐵/土木的想調(diào)劑南林，給自己招師弟中～ +3 | TqlXswl 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 08工科 320總分 求調(diào)劑 +4 | 梨花珞晚風(fēng) 2026-03-17 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +4 | 小賈同學(xué)123 2026-03-15 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 東南大學(xué)364求調(diào)劑 +5 | JasonYuiui 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 318求調(diào)劑 +3 | Yanyali 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 0856專碩279求調(diào)劑 +5 | 加油加油！? 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 255求調(diào)劑 +3 | 李嘉慧， 2026-03-12 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 復(fù)試調(diào)劑 +4 | z1z2z3879 2026-03-14 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 266求調(diào)劑 +4 | 學(xué)員97LZgn 2026-03-13 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +9 | Koxui 2026-03-12 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 301求調(diào)劑 +6 | Liyouyumairs 2026-03-11 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 310求調(diào)劑 +3 | 【上上簽】 2026-03-11 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 314求調(diào)劑 +7 | 無懈可擊的巨人 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 070303一志愿西北大學(xué)學(xué)碩310找調(diào)劑 +3 | d如愿上岸 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 290求調(diào)劑 +3 | ADT 2026-03-13 | 3/150 |
|
|
|
[考博] 福州大學(xué)楊黃浩課題組招收2026年專業(yè)學(xué)位博士研究生，2026.03.20截止 +3 | Xiangyu_ou 2026-03-12 | 3/150 |
|