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zrh82128木蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于旋涂速率問(wèn)題
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| 各位，我在文獻(xiàn)上看到有人這樣甩膜：先用低速旋涂（600rpm 3s）保證膜厚，然后用高速旋涂（4000rpm 20s）甩去雜質(zhì)保證薄膜清潔。這與我的理解完全相悖：我一直認(rèn)為膜厚會(huì)由高速旋涂決定。上述例子中，難道高速旋涂不會(huì)使膜進(jìn)一步變薄嗎？還是薄到一定厚度以下高速旋涂對(duì)其無(wú)效了？求解！ |
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124685887: 專(zhuān)家考核, 謝謝指導(dǎo) 2013-07-31 23:07:38
124685887: 專(zhuān)家考核, 謝謝指導(dǎo) 2013-07-31 23:07:38
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你認(rèn)為的是對(duì)的。高轉(zhuǎn)速?zèng)Q定膜厚，低轉(zhuǎn)速用于把膠勻開(kāi)。 后面那句也是對(duì)的。對(duì)于給定的polymer，當(dāng)轉(zhuǎn)速大到一定程度后，增加轉(zhuǎn)速膜厚不再減小。 但是600rpm是很低的轉(zhuǎn)速，寫(xiě)那篇文章的是棒槌。 |
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zrh821283樓2013-07-31 18:34:39
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【答案】應(yīng)助回帖
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zrh82128: 金幣+5, ★★★很有幫助 2013-08-02 10:09:47
zrh82128: 金幣+5, ★★★很有幫助 2013-08-02 10:09:47
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學(xué)位論文鬼扯的很多，他又不是專(zhuān)業(yè)干這個(gè)的，搞錯(cuò)也是很正常的。 厚膠邊是一定會(huì)存在的，你改變速度之類(lèi)的是沒(méi)辦法改善的。采用某些特殊手段，能夠改善一些，但是非常麻煩，需要改設(shè)備。建議做EBR，就是用溶劑把厚膠邊去掉。讓片子保持旋轉(zhuǎn)，然后用針頭把溶劑發(fā)射到片子的邊緣，然后邊緣厚的部分就被洗去了。 |
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9樓2013-08-01 18:03:51
zrh82128
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