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zrh82128木蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于旋涂速率問題
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| 各位，我在文獻上看到有人這樣甩膜：先用低速旋涂（600rpm 3s）保證膜厚，然后用高速旋涂（4000rpm 20s）甩去雜質(zhì)保證薄膜清潔。這與我的理解完全相悖：我一直認(rèn)為膜厚會由高速旋涂決定。上述例子中，難道高速旋涂不會使膜進一步變薄嗎？還是薄到一定厚度以下高速旋涂對其無效了？求解！ |
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tianjinjun
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zrh821284樓2013-07-31 19:53:48
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